Semicorex SiC coating EPI 3 1/4" Barrel Susceptor giver fremragende termisk stabilitet og modstandsdygtighed over for kemiske angreb, mens grafitsubstratet tilbyder overlegne varmeoverførselsegenskaber.
Semicorex EPI 3 1/4" barrel susceptor er et højkvalitets grafitprodukt belagt med højrent SiC, der tilbyder enestående varme- og korrosionsbestandighed. Den er specielt designet til LPE-applikationer i halvlederfremstillingsindustrien.
Vores EPI 3 1/4" Barrel Susceptorer er designet til brug i en række forskellige industrier, herunder rumfart, bilindustrien og elektronik. Vi er forpligtet til at levere produkter af høj kvalitet til en konkurrencedygtig pris, og vi er dedikerede til at bygge langsigtet relationer med vores kunder Kontakt os i dag for at lære mere om voresSiC-belagtgrafitdigler og hvordan de kan gavne din virksomhed.
Parametre for EPI 3 1/4" Barrel Susceptor
Hovedspecifikationer afCVD-SICBelægning |
||
SiC-CVD egenskaber |
||
Krystal struktur |
FCC β-fase |
|
Tæthed |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhed |
Vickers hårdhed |
2500 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Kemisk renhed |
% |
99.99995 |
Varmekapacitet |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃) |
430 |
Termisk udvidelse (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Funktioner af EPI 3 1/4" tøndebeholder
SiC belægninggiver fremragende termisk stabilitet og modstandsdygtighed over for kemiske angreb
Grafitsubstrat giver overlegne varmeoverførselsegenskaber
Høj tæthed og hårdhed
Høj kemisk renhed
Høj varmekapacitet
Høj sublimationstemperatur
Høj bøjningsstyrke
Høj Youngs modul
Lav termisk udvidelseskoefficient
Høj varmeledningsevne