Semicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel er et grafitprodukt i topkvalitet, der er belagt med højrent SiC. Dens fremragende tæthed og termiske ledningsevne gør den til et ideelt valg til brug i LPE-processer, hvilket giver enestående varmefordeling og beskyttelse i korrosive og højtemperaturmiljøer.
Når det kommer til fremstilling af halvledere, er Semicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel det foretrukne valg for overlegen ydeevne og enestående varmefordeling. Belagt med højrent SiC giver dette grafitprodukt enestående korrosions- og varmebestandighed, hvilket sikrer pålidelige og ensartede resultater hver gang.
Hos Semicorex fokuserer vi på at levere omkostningseffektive produkter af høj kvalitet til vores kunder. Vores SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel har en prisfordel og eksporteres til mange europæiske og amerikanske markeder. Vi sigter efter at være din langsigtede partner, der leverer ensartede kvalitetsprodukter og enestående kundeservice.
Parametre for SiC-belagt epitaksial reaktorrør
Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning |
||
SiC-CVD egenskaber |
||
Krystal struktur |
FCC β-fase |
|
Tæthed |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhed |
Vickers hårdhed |
2500 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Kemisk renhed |
% |
99.99995 |
Varmekapacitet |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃) |
430 |
Termisk udvidelse (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Funktioner af SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel
- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har god densitet og kan spille en god beskyttende rolle i høje temperaturer og korrosive arbejdsmiljøer.
- Siliciumcarbidbelagt susceptor, der bruges til enkeltkrystalvækst, har en meget høj overfladeplanhed.
- Reducer forskellen i termisk udvidelseskoefficient mellem grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget, forbedrer effektivt bindingsstyrken for at forhindre revner og delaminering.
- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.
- Højt smeltepunkt, høj temperatur oxidationsbestandighed, korrosionsbestandighed.