SiC Coated Barrel Susceptor

SemicorexSiC belagtTøndemodtagerer en højrent SiC-belagt grafitbærer, der i processen bruges til at dyrke det epitaksiale lag på wafer-chippen, som er velegnet til mange epitaksiale reaktorer. Den har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
VoresSiC belagtBarrel Susceptor er også modstandsdygtig over for høj temperatur oxidation og korrosion, hvilket gør det til et pålideligt og holdbart produkt. Dens høje smeltepunkt sikrer, at den kan modstå det høje temperaturmiljø, der kræves for effektiv halvlederfremstilling.
Kontakt os i dag for at lære mere om voresSiC belagtTøndemodtager

Parametre afSiC belagtTøndemodtager

Funktioner afSiC belagtTøndemodtager

- Undgå at skalle af og sørg for belægning på alle overflader

Høj temperatur oxidationsbestandighed: Stabil ved høje temperaturer op til 1600°C

Høj renhed: Fremstillet af CVD kemisk dampaflejring under højtemperaturkloreringsbetingelser.

Korrosionsbestandighed: høj hårdhed, tæt overflade og fine partikler.

Korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.

- Opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster

- Garanterer ensartethed af termisk profil

- Forebyg enhver forurening eller diffusion af urenheder