Semicorex er en storstilet producent og leverandør af SiC Coated Barrel Susceptor i Kina. Vi fokuserer på halvlederindustrier såsom siliciumcarbidlag og epitaksihalvleder. Vores produkter har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner.
SemicorexSiC belagtTøndemodtagerer en højrent SiC-belagt grafitbærer, der i processen bruges til at dyrke det epitaksiale lag på wafer-chippen, som er velegnet til mange epitaksiale reaktorer. Den har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
VoresSiC belagtBarrel Susceptor er også modstandsdygtig over for høj temperatur oxidation og korrosion, hvilket gør det til et pålideligt og holdbart produkt. Dens høje smeltepunkt sikrer, at den kan modstå det høje temperaturmiljø, der kræves for effektiv halvlederfremstilling.
Kontakt os i dag for at lære mere om voresSiC belagtTøndemodtager
Parametre afSiC belagtTøndemodtager
Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning |
||
SiC-CVD egenskaber |
||
Krystal struktur |
FCC β-fase |
|
Tæthed |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhed |
Vickers hårdhed |
2500 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Kemisk renhed |
% |
99.99995 |
Varmekapacitet |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃) |
430 |
Termisk udvidelse (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Funktioner afSiC belagtTøndemodtager
- Undgå at skalle af og sørg for belægning på alle overflader
Højtemperaturoxidationsbestandighed: Stabil ved høje temperaturer op til 1600°C
Høj renhed: Fremstillet af CVD kemisk dampaflejring under højtemperaturkloreringsbetingelser.
Korrosionsbestandighed: høj hårdhed, tæt overflade og fine partikler.
Korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster
- Garanterer ensartethed af termisk profil
- Undgå enhver forurening eller diffusion af urenheder