Siliciumcarbid SiC Coated Barrel Susceptor

Semicorex er en førende uafhængigt ejet producent af siliciumcarbid SiC Coated Barrel Susceptor, Precision Machined High Purity Graphite med fokus på Siliciumcarbide Coated Graphite, Silicium Carbide Ceramic, MOCVP områder inden for halvlederfremstilling. Vores siliciumcarbid SiC Coated Barrel Susceptor har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

SemicorexSiliciumcarbid SiC CoatedTøndemodtagerer et grafitprodukt belagt med højrenset SiC, som har høj varme- og korrosionsbestandighed. Den er velegnet til LPE. DeSiliciumcarbidSiC Coated Barrel Susceptor brugt i processer, der danner det epiksiale lag på halvlederwafers, som har en høj termisk ledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.

Kontakt os i dag for at lære mere om voresSiliciumcarbidSiC Coated Barrel Susceptor.

Parametre afSiliciumcarbid SiC belagtTøndemodtager

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkt)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner afSiliciumcarbid SiC belagtTøndemodtager

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har god densitet og kan spille en god beskyttende rolle i høje temperaturer og korrosive arbejdsmiljøer.

- Siliciumcarbidbelagt susceptor, der bruges til enkeltkrystalvækst, har en meget høj overfladeplanhed.

- Reducer forskellen i termisk udvidelseskoefficient mellem grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget, forbedrer effektivt bindingsstyrken for at forhindre revner og delaminering.

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.

- Højt smeltepunkt, høj temperatur oxidationsbestandighed, korrosionsbestandighed.