Siliciumcarbidbelagt tøndesusceptor

Semicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor er et højkvalitets grafitprodukt belagt med højrent SiC, der tilbyder enestående varme- og korrosionsbestandighed. Den er specielt designet til LPE-applikationer i halvlederfremstillingsindustrien.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

VoresSiliciumcarbidbelagt tøndesusceptorfra Semicorex er en ideel løsning til dyrkning af enkeltkrystaller i høje temperaturer og korrosive miljøer.

Hos Semicorex fokuserer vi på at levere høj kvalitet, omkostningseffektivtsiliciumcarbid belagtbarrel susceptor, prioriterer vi kundetilfredshed og leverer omkostningseffektive løsninger. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner, der leverer produkter af høj kvalitet og enestående kundeservice.

Parametre afSiliciumcarbid belagtTøndemodtager

Hovedspecifikationer afCVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner afSiliciumcarbid belagtTøndemodtager

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har god densitet og kan spille en god beskyttende rolle i høje temperaturer og korrosive arbejdsmiljøer.

- Siliciumcarbidbelagt susceptor, der bruges til enkeltkrystalvækst, har en meget høj overfladeplanhed.

- Reducer forskellen i termisk udvidelseskoefficient mellem grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget, forbedrer effektivt bindingsstyrken for at forhindre revner og delaminering.

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.

- Højt smeltepunkt, høj temperatur oxidationsbestandighed, korrosionsbestandighed.