Holdbar SIC-coated tøndefølsomhed

Med sin fremragende tæthed og termiske ledningsevne er Semicorex Durable SiC-coated Barrel Susceptor det ideelle valg til brug i epitaksiale processer og andre halvlederfremstillingsapplikationer. Dens højrente SiC-belægning giver overlegen beskyttelse og varmefordelingsegenskaber, hvilket gør den til det foretrukne valg for pålidelige og ensartede resultater.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Hvis du har brug for en grafitsusceptor af høj kvalitet med overlegen varme- og korrosionsbestandighed, skal du ikke lede længere end Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor. Dens siliciumcarbidbelægning giver enestående termisk ledningsevne og varmefordeling, hvilket sikrer pålidelig og ensartet ydeevne i selv de mest krævende højtemperaturmiljøer.
Vores holdbare SiC-coated tøndesusceptor er designet til at opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster, hvilket sikrer ensartet termisk profil. Dette hjælper med at forhindre enhver forurening eller diffusion af urenheder, hvilket sikrer epitaksial vækst af høj kvalitet på wafer-chippen.
Kontakt os i dag for at lære mere om vores Durable SiC-coated Barrel Susceptor.

Parametre for holdbar SiC-coated barrel susceptor

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner af holdbar SiC-coated Barrel Susceptor

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har god densitet og kan spille en god beskyttende rolle i høje temperaturer og korrosive arbejdsmiljøer.

- Siliciumcarbidbelagt susceptor, der bruges til enkeltkrystalvækst, har en meget høj overfladeplanhed.

- Reducer forskellen i termisk udvidelseskoefficient mellem grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget, forbedrer effektivt bindingsstyrken for at forhindre revner og delaminering.

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.

- Højt smeltepunkt, høj temperatur oxidationsbestandighed, korrosionsbestandighed.