Højtemperatur SiC-coated barrel Susceptor

Når det kommer til fremstilling af halvledere, er Semicorex High-Temperature SiC-coated Barrel Susceptor det bedste valg for overlegen ydeevne og pålidelighed. Dens højkvalitets SiC-belægning og enestående varmeledningsevne gør den ideel til brug i selv de mest krævende høje temperaturer og korrosive miljøer.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex High-Temperature SiC-coated Barrel Susceptor er det perfekte valg til enkeltkrystalvækst og andre halvlederfremstillingsapplikationer, der kræver høj varme- og korrosionsbestandighed. Dens siliciumcarbidbelægning giver overlegen beskyttelse og varmefordelingsegenskaber, hvilket sikrer pålidelig og ensartet ydeevne i selv de mest udfordrende miljøer.

Hos Semicorex fokuserer vi på at levere højkvalitets, omkostningseffektiv højtemperatur SiC-belagt tøndesusceptor, vi prioriterer kundetilfredshed og leverer omkostningseffektive løsninger. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner, der leverer produkter af høj kvalitet og enestående kundeservice.

Parametre for højtemperatur SiC-coated barrel susceptor

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner af højtemperatur SiC-coated tøndesuger

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har god densitet og kan spille en god beskyttende rolle i høje temperaturer og korrosive arbejdsmiljøer.

- Siliciumcarbidbelagt susceptor, der bruges til enkeltkrystalvækst, har en meget høj overfladeplanhed.

- Reducer forskellen i termisk udvidelseskoefficient mellem grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget, forbedrer effektivt bindingsstyrken for at forhindre revner og delaminering.

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.

- Højt smeltepunkt, høj temperatur oxidationsbestandighed, korrosionsbestandighed.