Induktivt opvarmet Barrel Epi System

Hvis du har brug for en grafitsusceptor med enestående termisk ledningsevne og varmefordelingsegenskaber, skal du ikke lede længere end Semicorex Inductively Heated Barrel Epi System. Dens højrente SiC-belægning giver overlegen beskyttelse i høje temperaturer og korrosive miljøer, hvilket gør den til det ideelle valg til brug i halvlederfremstillingsapplikationer.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex Inductively Heated Barrel Epi System er det perfekte valg til halvlederfremstillingsapplikationer, der kræver enestående varmefordeling og termisk ledningsevne. Dens højrente SiC-belægning og overlegne tæthed giver overlegen beskyttelse og varmefordelingsegenskaber, hvilket sikrer pålidelig og ensartet ydeevne i selv de mest udfordrende miljøer.
Hos Semicorex fokuserer vi på at levere omkostningseffektive produkter af høj kvalitet til vores kunder. Vores induktivt opvarmede tønde Epi-system har en prisfordel og eksporteres til mange europæiske og amerikanske markeder. Vi sigter efter at være din langsigtede partner, der leverer ensartede kvalitetsprodukter og enestående kundeservice.

Parametre for induktivt opvarmet tønde Epi-system

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner af induktivt opvarmet Barrel Epi System

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har god densitet og kan spille en god beskyttende rolle i høje temperaturer og korrosive arbejdsmiljøer.

- Siliciumcarbidbelagt susceptor, der bruges til enkeltkrystalvækst, har en meget høj overfladeplanhed.

- Reducer forskellen i termisk udvidelseskoefficient mellem grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget, forbedrer effektivt bindingsstyrken for at forhindre revner og delaminering.

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.

- Højt smeltepunkt, høj temperatur oxidationsbestandighed, korrosionsbestandighed.