SiC-coated barrel susceptor

Med sit høje smeltepunkt, oxidationsbestandighed og korrosionsbestandighed er Semicorex SiC-coated Barrel Susceptor det perfekte valg til brug i enkeltkrystalvækstapplikationer. Dens siliciumcarbidbelægning giver enestående fladhed og varmefordelingsegenskaber, hvilket sikrer pålidelig og ensartet ydeevne i selv de mest krævende højtemperaturmiljøer.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex SiC-coated Barrel Susceptor er et grafitprodukt af topkvalitet belagt med højrent SiC, designet specifikt til LPE-processer og andre halvlederfremstillingsapplikationer. Dens exceptionelle tæthed og termiske ledningsevne giver overlegen varmefordeling og beskyttelse i høje temperaturer og korrosive miljøer.
Hos Semicorex fokuserer vi på at levere høj kvalitet, omkostningseffektiv SiC-coated Barrel Susceptor, vi prioriterer kundetilfredshed og leverer omkostningseffektive løsninger. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner, der leverer produkter af høj kvalitet og enestående kundeservice.

Parametre for SiC-coated Barrel Susceptor

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner af SiC-coated Barrel Susceptor

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har god densitet og kan spille en god beskyttende rolle i høje temperaturer og korrosive arbejdsmiljøer.

- Siliciumcarbidbelagt susceptor, der bruges til enkeltkrystalvækst, har en meget høj overfladeplanhed.

- Reducer forskellen i termisk udvidelseskoefficient mellem grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget, forbedrer effektivt bindingsstyrken for at forhindre revner og delaminering.

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.

- Højt smeltepunkt, høj temperatur oxidationsbestandighed, korrosionsbestandighed.