Siliciumcarbidbelagt grafittønde

Semicorex siliciumcarbid-coated grafittønde er det perfekte valg til halvlederfremstillingsapplikationer, der kræver høj varme- og korrosionsbestandighed. Dens enestående varmeledningsevne og varmefordelingsegenskaber gør den ideel til brug i LPE-processer og andre højtemperaturmiljøer.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Når det kommer til fremstilling af halvledere, er Semicorex Silicon Carbide Coated Graphite Barrel det bedste valg for enestående ydeevne og pålidelighed. Dens højkvalitets SiC-belægning og overlegne tæthed og termisk ledningsevne giver overlegen varmefordeling og beskyttelse i selv de mest udfordrende høje temperaturer og korrosive miljøer.

Vores siliciumcarbidbelagte grafittønde sikrer en jævn termisk profil, hvilket garanterer det bedste laminære gasstrømningsmønster. Det forhindrer enhver forurening eller urenheder i at diffundere ind i waferen, hvilket gør den ideel til brug i renrumsmiljøer. Semicorex er en storstilet producent og leverandør af SiC Coated Graphite Susceptor i Kina, og vores produkter har en god prisfordel. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i halvlederindustrien.

Parametre for siliciumcarbidbelagt grafittønde

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner af siliciumcarbid-coated grafit tønde

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har god densitet og kan spille en god beskyttende rolle i høje temperaturer og korrosive arbejdsmiljøer.

- Siliciumcarbidbelagt susceptor, der bruges til enkeltkrystalvækst, har en meget høj overfladeplanhed.

- Reducer forskellen i termisk udvidelseskoefficient mellem grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget, forbedrer effektivt bindingsstyrken for at forhindre revner og delaminering.

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.

- Højt smeltepunkt, høj temperatur oxidationsbestandighed, korrosionsbestandighed.